BROOKS INSTRUMENT

Massflödesregulator

GP200

Brooks Instruments GP200 Differenstryck baserad massflödes regulator, med unik teknisk design som överkommer existerande begränsningar med dagens tryckbaserade massflöderegulatorer, vilket möjliggör ett mycket exakt flöde av gas genom processen vid varierande förhållanden. Massflödesregulatorn har BROOKS sofistikerade MultiFlow™  funktion för maximal flexibilitet.

GP200 riktar sig främst mot processer som hanterar temperaturkänsliga gaser där termisk mätteknik har en negativ effekt, som vid halvledartillverkning.

 

Läs mer
  • Unik differenstrycksreglering
  • Differenstryckområde: 7-50 PSID
  • Max tryck 150 PSIA
  • Flödesområde 3 sccm – 50 000 sccm
  • Noggrannhet: Zero Leak Valve 0,5-5% F.S. Metalltätad 2-5% F.S.

Vald variant

Teknisk data

Datakommunikation DeviceNet, EterCATA, Analog/RS485
Diagnostik/Serviceport DeviceNet, EtherCAT, RS485
Differenstryck Min: 7 psid typiskt Mas: upp till 50 psid
Display Toppmonterad integrerad LCD
Display visar Flöde (%), Temp (°C), Tryck (psia,kPa) / 0,1 (enhet)
Elektrisk anslutning DeviceNet via 5-stift "M12", EtherCAT via RJ45 kontakt, Power via 5-stift "M8", 0-5V Analog/RS485 (L-Protokoll) via 9-pin D-kontakt
Externt läckage 1x10-10 atm cc/sec He
Flödesområde max 3 sccm - 50,000 sccm
Godkännanden EMC, EN61326-1, FCC Part 15 Class A, CE mark, REACH, RoHS
Larm Processkontrollavvikelser, Flöde Hög/låg, Temp. Hög/Låg, Tryck Hög/låg, Inspänning Hög/Låg, kommunikation, Hårdvarufel, Uppvärmningslarm, Sidfel, Alarmen är modell specifika.
Läsavstånd max 3 m
Material Mediaberörda delar Rostfritt stål 316/316L (1.4401/1.4404), Hastelloy C22, Rostfritt stål 304, PCTFE Fluorpolymer
Matning DeviceNet: 545mA max. @ +11-25 Vdc, 250mA max. @ 24 Vdc. EtherCAT: 360mA max @ 18-30 Vdc, 270mA max @ 24 Vdc. Analog/RS485: 6Watt max @ +/- 15Vdc ( +/- 10%) eller +24vdc (+/-10%)
Multiflow Inbäddad
Noggrannhet Noll läckage ventil*: < ± 1% S.P. (5 – 100% F.S.) < ± 0.05% F.S. (0.5 - 5% F.S.) Metalltätad**: < ± 1% S.P. (5-100% F.S.), < ± 0.05% F.S. (2-5% F.S.)
Nollpunktsdrift < ± 0.15% F.S. per år
Reglerområde 0.5– 100% F.S.*, 2– 100% F.S.**
Repeternoggrannhet < ± 0.15% S.P
Responstid 280 ± 20 ms
Temperaturkoefficient Nollpunkt: 0,005% F.S. /°C reglerområde: 0,05% S.P./°C
Temperaturområde från 10 °C
Temperaturområde till 60 °C
Tryckområde max 10 bar

Mått och inkopplingar

Produktbeskrivning

Brooks Instruments GP200 Differenstryck baserad massflödes regulator, med unik teknisk design som överkommer existerande begränsningar med dagens tryckbaserade massflöderegulatorer, vilket möjliggör ett mycket exakt flöde av gas genom processen vid varierande förhållanden. Massflödesregulatorn har BROOKS sofistikerade MultiFlow™  funktion för maximal flexibilitet.

GP200 riktar sig främst mot processer som hanterar temperaturkänsliga gaser där termisk mätteknik har en negativ effekt, som vid halvledartillverkning.

 

Tillbehör

Relaterade produkter

Lär dig mer i Inspo

Favoriter Varianter Pris/enhet

Vald variant

Välj en variant i listan

Teknisk rådgivning
Mikael JeneiMikael Jenei

Produktchef, Tryck & Flöde - Process

073-929 15 42 073-929 15 42

Skicka e-post Skicka e-post

Kundsupport

Vår kundsupport svarar på alla typer av frågor.

phone 075-242 42 00

Skicka e-post Skicka e-post

comments Chatta