BROOKS INSTRUMENT
Brooks GF40 termisk massflödesregulator/massflödesmätare med elastomertätning som kan användas till de flesta applikationer när det gäller att mäta och reglera alla typer av gaser.
En enhet, flera gaser och flöden samt maximal flexibilitet är det som är utmärkande för GF40. Att hantera flera gaser i en enhet innebär maximal processflexibilitet och produktivitet.
GF40-seriens elastomertätade massflödesregulatorer och mätare med Brooks Instruments exklusiva MultiFlo™-teknologi utgör det perfekta valet för system, processer och anläggningar som använder en mängd olika gaser, byter gas ofta eller behöver ändra intervall samtidigt som gasmätning och kontroll bevaras. Det möjliggör en ny nivå av processflexibilitet i kombination med oöverträffad flödesmätning och kontrollprestanda.
Brooks GF40-serien har en korrosionsbeständig Hastelloy C-22-sensor för hållbar, långvarig drift. Med inställningstider under 1 sekund och 1 % av börvärdesnoggrannheten säkerställer att GF40 ger tillförlitlig flödesmätning eller flödeskontroll i krävande gasflödestillämpningar. GF40 uppnår utmärkt intern till extern läckintegritet för utmanande processgaser som finns i CVD Chemical Vapor Deposition, solcellspaneler och andra processer. Med ett brett utbud avanslutningar, tätnings- och sätesmaterial samt digitala och analoga I/O-alternativ, representerar GF40 en extremt kraftfull, men ändå enkel, uppgradering för befintliga MFC:er eller MFM:er.
Funktioner
Fördelar
Applikationsexempel
MultiFlo™
Som ett stort framsteg jämfört med traditionella omvandlingsfaktorer för enpunktsgas, ger Brooks MultiFlo-teknologi upp till tre gånger förbättrad processgasnoggrannhet. Detta uppnås genom avancerad gasmodellering plus omfattande faktiska gastestprotokoll. MultiFlo funktionen låter också enheten vara snabb och enkel att konfigureras för en annan gas och/eller flödesområde utan att offra noggrannhet eller avståndsförmåga.
Brooks MultiFlo-teknologi erbjuder oöverträffad flexibilitet då en enda enhet kan konfigureras för tusentals olika gaser och flödesområdeskonfigurationer. Omprogrammering är enkel och snabb och en ny gas och flödesområde kan programmeras på under 60 sekunder.
Datakommunikation | RS485 (HART), DeviceNet, Profibus, EtherCat |
---|---|
Diagnostik/Serviceport | Diagnostic/Service Port: RS485 via 2.5 mm jack |
Differenstryck | 3-860 mln/min = 0,5-3 bar, 861-7200 mln/min = 1-3bar, 7201-55000 mln/min = 1,7-3bar |
Differenstryck max | 3 bar |
Differenstryck min | 0,5 bar |
Elektrisk anslutning | Analog/RS-485 Dsub15, DeviceNetTM 5-pol M12, Profibus Dsub9, EtherCat M8/2xRJ45 |
Externt läckage | 1x10-9 atm. cc/sec He |
Flödesområde max | 0,003-50 ln/min N2 |
Godkännanden | CE, EN61010-1, EN61326: 2006 (FCC Part 15 & Canada IC-subset of CE testing), RoHS |
I/O-portar - Analog | 0-5 V DC, 0-10 V DC, 0-20 mA, 4-20 mA |
Larm | Digitalt |
Linjäritet | +/- 0,5 % F.S |
Material Mediaberörda delar | Hastelloy, Rostfritt stål 17-7 PH, Rostfritt stål 316, Rostfritt stål 430 |
Material Tätningar | Buna, EPDM, Kalrez, Neopren, Viton |
Matning | RS485/Analog 12 - 24Vdc max 8W, Profibus 13,5-27Vdc max 8W, DeviceNet 11-25Vdc max 8W, EtherCat 13,5-27Vdc max 8W |
Multiflow | Valbar |
Noggrannhet | +/- 1 % O.R. 35-100 %, +/- 0,35 % F.S. 2-35 % |
Nollpunktsdrift | < + 0,5 % F.S per år |
---|---|
Op. Tryck max | 10 bar |
Reglerområde | 2-100 % |
Repeternoggrannhet | < + 0,2% O.R. |
Responstid | < 1 s |
Sprängtryck | 275 bar |
Statusindikering | Status MFC, Nätverksstatus |
Temperaturområde från | 5 °C |
Temperaturområde media från | 5 °C |
Temperaturområde media till | 50 °C |
Temperaturområde till | 50 °C |
Tryckkoefficient | 0,03 % per psi (0-50 psi N2) |
Tryckområde max | 10 bar |
Ventiltyp | NC/NO |
Ytfinhet | 32 µm Ra |
Brooks GF40 termisk massflödesregulator/massflödesmätare med elastomertätning som kan användas till de flesta applikationer när det gäller att mäta och reglera alla typer av gaser.
En enhet, flera gaser och flöden samt maximal flexibilitet är det som är utmärkande för GF40. Att hantera flera gaser i en enhet innebär maximal processflexibilitet och produktivitet.
GF40-seriens elastomertätade massflödesregulatorer och mätare med Brooks Instruments exklusiva MultiFlo™-teknologi utgör det perfekta valet för system, processer och anläggningar som använder en mängd olika gaser, byter gas ofta eller behöver ändra intervall samtidigt som gasmätning och kontroll bevaras. Det möjliggör en ny nivå av processflexibilitet i kombination med oöverträffad flödesmätning och kontrollprestanda.
Brooks GF40-serien har en korrosionsbeständig Hastelloy C-22-sensor för hållbar, långvarig drift. Med inställningstider under 1 sekund och 1 % av börvärdesnoggrannheten säkerställer att GF40 ger tillförlitlig flödesmätning eller flödeskontroll i krävande gasflödestillämpningar. GF40 uppnår utmärkt intern till extern läckintegritet för utmanande processgaser som finns i CVD Chemical Vapor Deposition, solcellspaneler och andra processer. Med ett brett utbud avanslutningar, tätnings- och sätesmaterial samt digitala och analoga I/O-alternativ, representerar GF40 en extremt kraftfull, men ändå enkel, uppgradering för befintliga MFC:er eller MFM:er.
Funktioner
Fördelar
Applikationsexempel
MultiFlo™
Som ett stort framsteg jämfört med traditionella omvandlingsfaktorer för enpunktsgas, ger Brooks MultiFlo-teknologi upp till tre gånger förbättrad processgasnoggrannhet. Detta uppnås genom avancerad gasmodellering plus omfattande faktiska gastestprotokoll. MultiFlo funktionen låter också enheten vara snabb och enkel att konfigureras för en annan gas och/eller flödesområde utan att offra noggrannhet eller avståndsförmåga.
Brooks MultiFlo-teknologi erbjuder oöverträffad flexibilitet då en enda enhet kan konfigureras för tusentals olika gaser och flödesområdeskonfigurationer. Omprogrammering är enkel och snabb och en ny gas och flödesområde kan programmeras på under 60 sekunder.
|
|
|
|
|
||
---|---|---|---|---|---|---|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
Favoriter | Varianter | Pris/enhet | |
---|---|---|---|
Massflödesmätare GF40
Art:
GF40
Kopierad
|
|
Välj en variant i listan
Produktchef, Tryck & Flöde - Process
Vår kundsupport svarar på alla typer av frågor.