Massflödesregulator

Brooks GF40 termisk massflödesregulator/massflödesmätare med elastomertätning som kan användas till de flesta applikationer när det gäller att mäta och reglera alla typer av gaser.

En enhet, flera gaser och flöden samt maximal flexibilitet är det som är utmärkande för GF40. Att hantera flera gaser i en enhet innebär maximal processflexibilitet och produktivitet.

GF40-seriens elastomertätade massflödesregulatorer och mätare med Brooks Instruments exklusiva MultiFlo™-teknologi utgör det perfekta valet för system, processer och anläggningar som använder en mängd olika gaser, byter gas ofta eller behöver ändra intervall samtidigt som gasmätning och kontroll bevaras. Det möjliggör en ny nivå av processflexibilitet i kombination med oöverträffad flödesmätning och kontrollprestanda.

Brooks GF40-serien har en korrosionsbeständig Hastelloy C-22-sensor för hållbar, långvarig drift. Med inställningstider under 1 sekund och 1 % av börvärdesnoggrannheten säkerställer att GF40 ger tillförlitlig flödesmätning eller flödeskontroll i krävande gasflödestillämpningar. GF40 uppnår utmärkt intern till extern läckintegritet för utmanande processgaser som finns i CVD Chemical Vapor Deposition, solcellspaneler och andra processer. Med ett brett utbud avanslutningar, tätnings- och sätesmaterial samt digitala och analoga I/O-alternativ, representerar GF40 en extremt kraftfull, men ändå enkel, uppgradering för befintliga MFC:er eller MFM:er.

 Funktioner

• Programmerbar multi-gas / multi-flödesområdeskapacitet
• Brooks® MultiFlo™ gasdatabas innehåller tusentals inbyggda gaskörningar för att upprätta korrigeringsfunktioner
• Flödessvarstid under 1 sekund och noggrannhet på 1 % börvärde för krävande applikationer
• Väl lämpad för en mängd olika gaser
• Snabb respons, Hastelloy-sensor
• Lättillgänglig diagnostisk via serviceport.
• Multiprotokollkommunikationsalternativ inkluderar DeviceNet™, EtherCAT®, Profibus® och RS-485 analogt gränssnitt

 Fördelar

• MultiFlo™-teknik möjliggör nya gaskalibreringar och fullskaliga intervall utan att ta bort MFC från gasledningen, vilket maximerar processdrifttiden
• MultiFlo™-programmering är enkel och användarvänlig; ny gas kan väljas på under 60 sekunder
• OEM-tillverkare och stora slutanvändare kan avsevärt minska antalet gas- och sortimentsspecifika styrenheter som de har i lager
• Utmärkt processgasnoggrannhet stödd av överlägsna mätsystem och kalibrering baserad på globala standarder
• Korrosionsbeständig sensor ger oöverträffad långtidsstabilitet som säkerställer maximalt utbyte och genomströmning
• Användartillgänglig serviceport förenklar felsökning och diagnostiska uppgifter
• Olika elastomertätningar ger flexibilitet i kostnadsprestanda över olika applikationer
• Kommunikationsgränssnitt med flera protokoll stöder integration i befintliga system

 Applikationsexempel

• Kemiska ångdepositionssystem för solceller
• Biovetenskapliga bioreaktorer
• Vakuumprocesser
• Tillverkning av nanoteknik/MEMS halvledare
• Plasma, glas och banbeläggningssystem
• Utmärkt alternativ för grenrör/gasleveranssystem

 MultiFlo™

Som ett stort framsteg jämfört med traditionella omvandlingsfaktorer för enpunktsgas, ger Brooks MultiFlo-teknologi upp till tre gånger förbättrad processgasnoggrannhet. Detta uppnås genom avancerad gasmodellering plus omfattande faktiska gastestprotokoll. MultiFlo funktionen låter också enheten vara snabb och enkel att konfigureras för en annan gas och/eller flödesområde utan att offra noggrannhet eller avståndsförmåga.

Brooks MultiFlo-teknologi erbjuder oöverträffad flexibilitet då en enda enhet kan konfigureras för tusentals olika gaser och flödesområdeskonfigurationer. Omprogrammering är enkel och snabb och en ny gas och flödesområde kan programmeras på under 60 sekunder.