BROOKS INSTRUMENT
Brooks GF80 är en termisk massflödesregulator/massflödesmätare med metalltätning som kan användas till de flesta applikationer när det gäller att mäta och reglera alla typer av gaser.
Brooks® GF80 termiska massflödesregulatorer (MFC) och termisk massflödemätare (MFM) uppnår oöverträffad prestanda, tillförlitlighet och flexibilitet i många applikationer för mätning och kontroll av gasflöde. GF80 är Brooks patenterade 4:e generationens MultiFloTM-kapabla enhet. MultiFlo övervinner en långvarig begränsning av många termiska MFC:er – vid byte gastyper, en enkel korrektionsfaktor, såsom förhållandet mellan värmekapaciteten mellan kalibreringsgas och ny gas, kan inte ta hänsyn till noggrannhetsberövande viskositet och densitet skillnader.
Brooks GF80/GF81-serien är det perfekta valet för dig som använder termisk massa flödesregulatorer eller termiska massflödesmätare på en mängd olika gaser, som behöver byta gastyp ofta, eller som behöver ändra räckvidd med bibehållen gasmätning och kontrollnoggrannhet. Några exempel:
Brooks GF80 -serien har en korrosionsbeständig Hastelloy C-22-sensor för hållbar, långsiktig drift. Inställningstider under 1 sekund och 1 % av börvärdesnoggrannheten gör att GF80 ger tillförlitlig flödesmätning eller flödeskontroll i krävande gasflödestillämpningar. GF80 uppnår utmärkt till intern och extern läckageintegritet för utmanande processgaser som finns i CVD, solenergi och andra processer. Med ett brett utbud av digitala och analoga I/O-alternativ tillgängliga representerar GF80 en extremt kraftfull, men ändå enkel, uppgradering för befintliga MFC:er eller MFM:er.
Funktioner
Fördelar
Applikationsexempel
MultiFlo
MultiFlo-programmering är enkel och snabb – en ny gas och räckvidd kan programmeras under 60 sekunder plus att enheten kan programmeras utan att den tas ur drift eller koppla bort enheten från någon process eller verktygskontrollsystem.
Datakommunikation | RS485 (HART), DeviceNet, Profibus, EtherCat |
---|---|
Diagnostik/Serviceport | RS485 (2,5mm plug) |
Differenstryck | 3-860 mln/min = 0,5-3 bar, 861-7200 mln/min = 1-3bar, 7201-55000 mln/min = 1,7-3bar |
Differenstryck max | 3 bar |
Elektrisk anslutning | Analog/RS-485 Dsub15, DeviceNetTM 5-pol M12, Profibus Dsub9, EtherCat M8/2xRJ45 |
Externt läckage | 1x10-10 atm. ml/s He |
Flödesområde max | 0,003-50 ln/min N2 |
Godkännanden | CE, EN61010-1, EN61326: 2006 (FCC Part 15 & Canada IC-subset of CE testing), RoHS |
I/O-portar - Analog | 0-5 V DC, 0-10 V DC, 0-20 mA, 4-20 mA |
Larm | Digitalt |
Linjäritet | +/- 0,5 % F.S |
Material Mediaberörda delar | Hastelloy, Rostfritt stål 17-7 PH, Rostfritt stål 316, Rostfritt stål 430 |
Material Tätningar | Rostfritt stål 316 |
Matning | RS485/Analog 12 - 24Vdc max 8W, Profibus 13,5-27Vdc max 8W, DeviceNet 11-25Vdc max 8W, EtherCat 13,5-27Vdc max 8W |
Multiflow | Valbar |
Noggrannhet | +/- 1 % O.R. 35-100 %, +/- 0,35 % F.S. 2-35 % |
Nollpunktsdrift | < + 0,5 % F.S per år |
---|---|
Op. Tryck max | 10 bar |
Reglerområde | 2-100 % |
Repeternoggrannhet | < + 0,2% O.R. |
Responstid | < 1 s |
Sprängtryck | 275 bar |
Statusindikering | Status MFC, Nätverksstatus |
Temperaturområde från | 5 °C |
Temperaturområde media från | 5 °C |
Temperaturområde media till | 50 °C |
Temperaturområde till | 50 °C |
Tryckkoefficient | 0,03 % per psi (0-50 psi N2) |
Tryckområde max | 10 bar |
Ventiltyp | NC/NO |
Ytfinhet | 1,3 µm Ra |
Brooks GF80 är en termisk massflödesregulator/massflödesmätare med metalltätning som kan användas till de flesta applikationer när det gäller att mäta och reglera alla typer av gaser.
Brooks® GF80 termiska massflödesregulatorer (MFC) och termisk massflödemätare (MFM) uppnår oöverträffad prestanda, tillförlitlighet och flexibilitet i många applikationer för mätning och kontroll av gasflöde. GF80 är Brooks patenterade 4:e generationens MultiFloTM-kapabla enhet. MultiFlo övervinner en långvarig begränsning av många termiska MFC:er – vid byte gastyper, en enkel korrektionsfaktor, såsom förhållandet mellan värmekapaciteten mellan kalibreringsgas och ny gas, kan inte ta hänsyn till noggrannhetsberövande viskositet och densitet skillnader.
Brooks GF80/GF81-serien är det perfekta valet för dig som använder termisk massa flödesregulatorer eller termiska massflödesmätare på en mängd olika gaser, som behöver byta gastyp ofta, eller som behöver ändra räckvidd med bibehållen gasmätning och kontrollnoggrannhet. Några exempel:
Brooks GF80 -serien har en korrosionsbeständig Hastelloy C-22-sensor för hållbar, långsiktig drift. Inställningstider under 1 sekund och 1 % av börvärdesnoggrannheten gör att GF80 ger tillförlitlig flödesmätning eller flödeskontroll i krävande gasflödestillämpningar. GF80 uppnår utmärkt till intern och extern läckageintegritet för utmanande processgaser som finns i CVD, solenergi och andra processer. Med ett brett utbud av digitala och analoga I/O-alternativ tillgängliga representerar GF80 en extremt kraftfull, men ändå enkel, uppgradering för befintliga MFC:er eller MFM:er.
Funktioner
Fördelar
Applikationsexempel
MultiFlo
MultiFlo-programmering är enkel och snabb – en ny gas och räckvidd kan programmeras under 60 sekunder plus att enheten kan programmeras utan att den tas ur drift eller koppla bort enheten från någon process eller verktygskontrollsystem.
|
|
|
|
|
||
---|---|---|---|---|---|---|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
Favoriter | Varianter | Pris/enhet | |
---|---|---|---|
Massflödesmätare GF80
Art:
GF80
Kopierad
|
|
Välj en variant i listan
Produktchef, Tryck & Flöde - Process
Vår kundsupport svarar på alla typer av frågor.